Wafer-Markiersystem
automatisiertes Handling & Ausrichten der Wafer
Das Wafermarkiersystem wurde speziell dafür entwickelt, Halbleiterwafer mit einem individuellen Code partikelfrei und hochpräzise zu beschriften. Dieser Prozess dient der Nachverfolgbarkeit jedes einzelnen Wafers während des gesamten Herstellungsprozesses, welche für eine vollumfängliche Qualitätssicherung benötigt wird.